高纯晶硅生产工艺流程

高纯晶硅生产工艺流程？

工业制取高纯单晶硅的步骤如下：

1、首先由石英砂和焦炭在电弧炉中制取纯度较低的粗硅；

2、然后将粗硅转化为有挥发性并易提纯的四氯化硅或三氯氢硅；

3、再用精馏法提纯四氯化硅或三氯氢硅，在电炉中用氢气还原，得到纯度较高的硅；

4、最后用区域熔融法进一步提纯并制成高纯单晶硅。