晶硅加工工艺流程?
晶硅的加工工艺流程包括以下步骤:
1.硅料粗碎:
用颚式破碎机将硅料破碎至小于300目,并除铁。
2.硅料细碎:
用反击式破碎机将硅料破碎至小于120目,并除铁。
3.硅料研磨:
用立式砂磨机将硅料研磨至小于200目,并除铁。
4.硅料干燥:
用沸腾干燥机干燥硅料,使其水分小于20mg/g。
5.硅料筛分:
用振动筛筛分小于30目和大于500目的硅料,得到大于50目的精矿。
6.硅料熔炼:
将硅料放入电弧炉中,熔炼成硅液体。
7.硅液冷却:
将硅液体倒入模具中,冷却成硅片。
8.硅片切割:
用硅片切割机将硅片切成所需尺寸。
9.硅片打磨:
用砂轮和砂纸打磨硅片,使其表面平整。
10.硅片清洗:
用清洗机清洗硅片,去除表面的污垢和油脂。
11.硅片检测:
用检测设备检测硅片的质量和尺寸。
12.硅片包装:
用真空包装机包装硅片,保护其不受外界污染。
以上是晶硅加工的主要工艺流程。