晶硅加工工艺流程

晶硅加工工艺流程?

晶硅的加工工艺流程包括以下步骤:

1.硅料粗碎:

用颚式破碎机将硅料破碎至小于300目,并除铁。

2.硅料细碎:

用反击式破碎机将硅料破碎至小于120目,并除铁。

3.硅料研磨:

用立式砂磨机将硅料研磨至小于200目,并除铁。

4.硅料干燥:

用沸腾干燥机干燥硅料,使其水分小于20mg/g。

5.硅料筛分:

用振动筛筛分小于30目和大于500目的硅料,得到大于50目的精矿。

6.硅料熔炼:

将硅料放入电弧炉中,熔炼成硅液体。

7.硅液冷却:

将硅液体倒入模具中,冷却成硅片。

8.硅片切割:

用硅片切割机将硅片切成所需尺寸。

9.硅片打磨:

用砂轮和砂纸打磨硅片,使其表面平整。

10.硅片清洗:

用清洗机清洗硅片,去除表面的污垢和油脂。

11.硅片检测:

用检测设备检测硅片的质量和尺寸。

12.硅片包装:

用真空包装机包装硅片,保护其不受外界污染。

以上是晶硅加工的主要工艺流程。

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晶硅加工工艺流程
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